淺談電子廠房設計要注意的幾個方面

來源：建科 瀏覽：- 發(fā)布日期：2025-10-18 08:31:59

1、總體布局與功能分區(qū)

1）選址與規(guī)劃

需遠離交通干道、鐵路等振動源，地質(zhì)勘察應避開軟弱土層，同時通過功能分區(qū)隔離振動源。將精密生產(chǎn)區(qū)與空調(diào)機房、物流通道等分離，減少振動傳遞。

2）流線控制

遵循“人流物流單向流動”原則，人員需經(jīng)“更衣→淋浴→風淋（≥30秒）”三級凈化，物料通過帶紫外消毒的傳遞窗進入，不同潔凈等級區(qū)域設置獨立通道。

3）梯度布局

高潔凈區(qū)（百級/千級）置于車間內(nèi)側，低潔凈區(qū)（萬級/十萬級）靠近外圍，通過緩沖間維持5Pa壓差梯度，防止交叉污染。

2、潔凈度控制

電子產(chǎn)品的制造要求具有很高的潔凈度，因此潔凈度控制是電子廠房設計的重要環(huán)節(jié)。設計時應根據(jù)生產(chǎn)工藝和產(chǎn)品要求，確定合理的潔凈度等級，并選擇合適的空氣過濾器。此外，潔凈度的控制還體現(xiàn)在人流、物流的凈化措施上，如設置風淋室、潔凈走廊等。

3、環(huán)境控制核心系統(tǒng)

1）空氣凈化與溫濕度

百級區(qū)采用垂直/水平層流（風速0.3-0.5m/s），萬級區(qū)采用亂流，換氣次數(shù)≥15次/小時，均需配備HEPA/ULPA高效過濾器。

溫濕度控制精度需達22±2℃、45%±5%，既滿足設備運行需求，又通過濕度調(diào)節(jié)減少靜電產(chǎn)生。

2）微振控制

結構層面采用樁基/筏板基礎、浮筑樓板，必要時設置隔振溝；設備層面選用低振動機型，搭配空氣彈簧隔振器等裝置。

精密設備（如光刻機）需遠離空調(diào)機組，管道采用柔性連接減少振動傳遞。

3）防靜電與接地

地面、工作臺鋪設防靜電材料（電阻值10?-10¹?Ω），人員佩戴防靜電腕帶，設備接地電阻≤1Ω。

禁止使用化纖制品，通過濕度維持（45%-60%）抑制靜電積累。

4、配套系統(tǒng)設計規(guī)范

1）建筑與材料

墻面用不銹鋼板或環(huán)氧樹脂涂層，地面做圓弧接縫（R≥50mm），吊頂采用密封式金屬彩鋼板，門窗均需氣密設計。

2）氣體與純水供應

高純氣體管道采用不銹鋼管，焊接連接避免“盲管”，終端設高效過濾器。

純水系統(tǒng)需靠近用水點，管道材質(zhì)與處理工藝匹配水質(zhì)等級，防止二次污染。

3）消防設計

采用無鹵阻燃材料，潔凈區(qū)優(yōu)先使用氣體滅火系統(tǒng)，安全通道寬度≥1.5m，應急照明不影響氣流組織。

5、安全系統(tǒng)設計

電子廠房的安全系統(tǒng)設計應包括消防系統(tǒng)、安全疏散系統(tǒng)、環(huán)保系統(tǒng)等。應根據(jù)廠房特點和產(chǎn)品特性，設置相應的消防設施和疏散通道，確保在火災等緊急情況下員工的生命安全。此外，還應設置環(huán)保設施，如廢水處理系統(tǒng)、廢棄物處理系統(tǒng)等，以減少對環(huán)境的影響。

6、環(huán)境保護

電子廠房的設計應充分考慮環(huán)境保護，盡可能減少能源消耗和環(huán)境污染。應選擇環(huán)保建筑材料和設備，采用節(jié)能技術和綠色生產(chǎn)工藝，減少廢棄物的產(chǎn)生和處理。同時，應設置相應的環(huán)保設施，如廢水處理系統(tǒng)、廢氣處理系統(tǒng)等，以減少對環(huán)境的影響。